FEI Nova NanoSEM

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Foto: JGU

Das FEI Nova NanoSEM ist mit einem Feldemissionsemitter ausgestattet und geeignet für hohe Auflösungen. Verschiedene Detektoren ermöglichen es eine breite Palette zur Abbildung. Es ist mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer ausgerüstet. Außerdem steht ein Cryo-System mit Gefrierbrucheinheit zur Verfügung.

Beschleunigungsspannung0.5 - 30 kV
EmitterSchottky FEG
Strahlstrom0.3 - 22 pA
Spezifizierte Punktauflösung1.8 nm bei 1 kV (SE)
1.0 nm bei 15 kV (SE)
DetektorenEverhart-Thornley (ETD), Through lens (TLD), Niedrigspannung-Hochkontrastdetektor (vCD), Rückstreuelektronen (BSED)
Rastereinheit (STEM)
KameraInfrarot
Energiedispersives RöntgenspektrometerEDAX-Pegasus X4M
ZubehörCryo-Präparationssystem mit Cryo-Tisch
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