SEM

Raster-Elektronenmikroskope ermöglichen eine präzise Analyse von Struktur und chemischer Zusammensetzung der Proben-Oberfläche. Durch die Verwendung hoch kohärenter und stabiler Feldemissions-Quellen (FEG) wird dabei eine Auflösung von bis zu 1 Nanometer erreicht, wie etwa beim SU-8000, NanoSEM und Gemini. Die SEMs am EMZ-M sind für verschiedenste Proben-Geometrien, von Nanopartikeln bis hin zu Standard-Wafern, ausgelegt, und ermöglichen auch Messungen z.B. unter Gasatmosphäre. Der Probenwechsel ist unkompliziert und schnell durchzuführen, was einen hohen Durchsatz bei Analysen bedeutet.
Unsere Geräte sind teilweise mit Röntgen-Spektrometern und mehreren parallelen Elektronen-Detektoren ausgestattet, wodurch die die simultane Messung einer Vielzahl von Proben-Eigenschaften ermöglicht wird:

  • Everhart-Thornley-Detektoren (ETD)
  • Through-Lens-Detektoren (TLD)
  • In-Lens-Detektoren
  • Niedrigspannungs-Detektoren
  • Detektoren für Rückstreuelektronen (BSED)