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Das FEI Nova NanoSEM ist mit einem Feldemissionsemitter ausgestattet und geeignet für hohe Auflösungen. Verschiedene Detektoren ermöglichen es eine breite Palette zur Abbildung. Es ist mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer ausgerüstet. Außerdem steht ein Cryo-System mit Gefrierbrucheinheit zur Verfügung.
| Beschleunigungsspannung | 0.5 - 30 kV |
| Emitter | Schottky FEG |
| Strahlstrom | 0.3 - 22 pA |
| Spezifizierte Punktauflösung | 1.8 nm bei 1 kV (SE) 1.0 nm bei 15 kV (SE) |
| Detektoren | Everhart-Thornley (ETD), Through lens (TLD), Niedrigspannung-Hochkontrastdetektor (vCD), Rückstreuelektronen (BSED) |
| Rastereinheit (STEM) | |
| Kamera | Infrarot |
| Energiedispersives Röntgenspektrometer | EDAX-Pegasus X4M |
| Zubehör | Cryo-Präparationssystem mit Cryo-Tisch |