![Hitachi SU8000 Scanning Electron Microscope (Foto: MPI-P)](https://www.emzm.uni-mainz.de/files/2016/04/SU8000_363pxl-1-150x150.png)
![LEO Gemini 1530 Scanning Electron Microscope (Foto: MPI-P)](https://www.emzm.uni-mainz.de/files/2016/04/Gemini1530_400pxl-150x150.png)
![FEI Nova NanoSEM (Foto: JGU)](https://www.emzm.uni-mainz.de/files/2016/04/FEI-NanoSEM-Quanta-200-FEG_1-150x150.jpg)
![FEI Phenom (Foto: JGU)](https://www.emzm.uni-mainz.de/files/2016/04/Phenom_web-150x150.jpg)
Raster-Elektronenmikroskope ermöglichen eine präzise Analyse von Struktur und chemischer Zusammensetzung der Proben-Oberfläche. Durch die Verwendung hoch kohärenter und stabiler Feldemissions-Quellen (FEG) wird dabei eine Auflösung von bis zu 1 Nanometer erreicht, wie etwa beim SU-8000, NanoSEM und Gemini. Die SEMs am EMZ-M sind für verschiedenste Proben-Geometrien, von Nanopartikeln bis hin zu Standard-Wafern, ausgelegt, und ermöglichen auch Messungen z.B. unter Gasatmosphäre. Der Probenwechsel ist unkompliziert und schnell durchzuführen, was einen hohen Durchsatz bei Analysen bedeutet.
Unsere Geräte sind teilweise mit Röntgen-Spektrometern und mehreren parallelen Elektronen-Detektoren ausgestattet, wodurch die die simultane Messung einer Vielzahl von Proben-Eigenschaften ermöglicht wird:
- Everhart-Thornley-Detektoren (ETD)
- Through-Lens-Detektoren (TLD)
- In-Lens-Detektoren
- Niedrigspannungs-Detektoren
- Detektoren für Rückstreuelektronen (BSED)