LEO Gemini 1530

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Foto: MPI-P

Das LEO Gemini 1530 SEM erlaubt einen hohen Probendurüchsatz mit sehr guter Abbildungsqualität. Sein Niedrigspannungsmodus erlaubt es, nicht-leitende oder durch Trocknung veränderliche Proben zu untersuchen. In diesem Modus liefert der in-lens SE Detektor weiterhin sehr guten Kontrast.

Beschleunigungsspannung:0.1 … 30 kV
Emitter: Schottky FEG
Spezifizierte Punktauflösung:1.0 nm (@ 30 kV and WD = 4 mm)
Detektoren:InLens (SE), Everhart-Thornley
energiedispersives Röntgenspektrometer:none
Zubehör:
Probenhalter:8x-holder, cross section holder