Foto: MPI-P
Das Hitachi SU8000 SEM ist mit einer Feldemissionskanone ausgerüstet und bietet durch unterschiedliche Detektoren eine Vielzahl von Abbildungsoptionen in hoher Auflösung. Durch die Möglichkeit das Gerät im Niedrigspannungsmodus zu betreiben, können auch nicht-leitende Proben ohne Bedampfung untersucht werden. Für die chemische Analyse ist das SU8000 mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer (EDS or EDX) ausgerüstet. Für feuchte Proben oder Proben, die eine Veränderung durch die Trocknung erfahren, steht eine Cryo-Präparationseinheit mit Transfersystem zur Verfügung.
| Beschleunigungsspannung: | 0.5 ... 30 kV 0.1 ... 2.0 kV in DM |
| Emitter: | Cold FEG |
| Spezifizierte Punktauflösung: | 1.0 nm (@ 15 kV und WD = 4mm) 1.3 nm (@ 1kV Spannung, WD = 1.5 mm) |
| Detektoren: | In-lens(oben, unten), Everhart-Thormley, Transmission |
| Energiefilter | ExB |
| Energiedispersives Röntgenspektrometer | Bruker Quantax |
| Zubehör | Cryopräparation mit Cryo-Tisch |
| Probenhalter | 8x, STEM Dunkelfeld und -hellfeld, Querschnitte |